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百货© CellPress07.JapaneseJournalofAppliedPhysics—溶液旋涂法制备HfO2薄膜及其阻变器件采用HfO2薄膜研究了阻变存储（ReRAM）的特性。当HZO膜厚度大于等于约30nm时，全部可以观察到从极性正交晶相中出现了非极性单斜相。DFT计算表明，玩意钇掺杂和快速冷却是稳定所需块体相结构的关键。

此外，百货其厚度可缩放性有助于集成电路系统的小型化。实验结果表明，全部薄膜的晶体结构和铁电性能同退火过程密切相关。

在没有对称性破缺的情况下，玩意形成孪晶诱导的极化有序可能为在不局限于氧化物的离子化合物中发现新的铁电相提供一般性的指导。

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